六氟乙烷

　　一、產(chǎn)品介紹

　　中文名稱：六氟乙烷           英文名稱：hexafluoroethane
　　化學(xué)式：C2F6                  CAS號(hào)：76-16-4
　　熔點(diǎn)（℃）：-101               沸點(diǎn)（℃）：-78
　　亦是烴類化合物乙烷所對(duì)應(yīng)的全氟化合物，是一種不易燃的氣體，難溶于水，微溶于醇。

　　二、主要用途

　　可用于一種具多功能的蝕刻技術(shù)，常見(jiàn)于半導(dǎo)體之生產(chǎn)。它可用于金屬硅化物及金屬氧化物并相對(duì)其金屬基質(zhì)的選擇性蝕刻。叧外，它亦用于蝕刻硅上的二氧化硅。
　　作制冷劑方面：六氟乙烷可連同三氟甲烷一起用于制冷劑R508A（六氟乙烷占61%）及R508B（六氟乙烷占54%）

　　三、運(yùn)輸信息

　　危險(xiǎn)貨物編號(hào)：22034
　　UN編號(hào)：2193
　　包裝類別：O53
　　包裝方法： 鋼質(zhì)氣瓶。
　　運(yùn)輸注意事項(xiàng)： 采用剛瓶運(yùn)輸時(shí)必須戴好鋼瓶上的安全帽。鋼瓶一般平放，并應(yīng)將瓶口朝同一方向，不可交叉；高度不得超過(guò)車輛的防護(hù)欄板，并用三角木墊卡牢，防止?jié)L動(dòng)。嚴(yán)禁與氧化劑等混裝混運(yùn)。夏季應(yīng)早晚運(yùn)輸，防止日光曝曬。鐵路運(yùn)輸時(shí)要禁止溜放。

　　四、泄漏處理

　　應(yīng)急處理： 迅速撤離泄漏污染區(qū)人員至上風(fēng)處，并進(jìn)行隔離，嚴(yán)格限制出入。建議應(yīng)急處理人員戴自給正壓式呼吸器。盡可能切斷泄漏源。合理通風(fēng)，加速擴(kuò)散。如有可能，將漏氣的容器移至空曠處，注意通風(fēng)。漏氣容器要妥善處理，修復(fù)、檢驗(yàn)后再用。

　　五、儲(chǔ)存注意

　　儲(chǔ)存于陰涼、通風(fēng)的庫(kù)房。遠(yuǎn)離火種、熱源。應(yīng)與氧化劑分開(kāi)存放，切忌混儲(chǔ)。儲(chǔ)區(qū)應(yīng)備有泄漏應(yīng)急處理設(shè)備。

　　產(chǎn)品指標(biāo)：

特來(lái)化工科技產(chǎn)品質(zhì)量指標(biāo)
項(xiàng)目名稱	質(zhì)量指標(biāo)
六氟乙烷（C2F6).ppmv	≥99.999%
氧氣（O2).ppmv	≤2.0
氮?dú)猓∟2）.ppmv	≤8.0
二氧化碳(CO2).ppmv	≤0.5
一氧化碳(CO).ppmv	≤0.5
水份(H2O).ppmv	≤0.1
酸度（以HF計(jì)）.ppmv	≤0.1
其它有機(jī)物.ppmv	≤1.5

　　包裝規(guī)格：

鋼瓶包裝	容積	凈重
	44L	43kg
鋼瓶閥門(mén)	CGA660/DISS716